高灵敏温度传感器厚度仅40微米

　　记者12月25日从中国科学院新疆理化技术研究所（以下简称“新疆理化所”）获悉，该所科研团队日前成功研制出一种高灵敏超薄温度传感器。该传感器厚度仅40微米，且具备优异的灵敏度和响应速度，有望为下一代电子皮肤、可穿戴设备等柔性智能感知系统提供有力技术支撑。该研究成果近期发表于国际期刊《ACS应用材料和界面》。

　　在智能医疗与机器人感知领域，柔性温度传感器的超薄化是实现高贴合度与集成度的关键前提。超薄柔性温度传感器需要通过高温材料工艺来实现高灵敏度，但其柔性基底却难以耐受高温。这导致器件在柔性温度传感器超薄形态下往往无法同时兼顾高灵敏度、优异柔韧性及长期稳定性。

　　针对这一技术瓶颈，新疆理化所研究团队采用“水溶性牺牲层辅助转移”策略，成功解决了高性能敏感材料与柔性基底之间的工艺兼容性难题，制备出总厚度仅为40微米的超薄柔性温度传感器。

　　据悉，在制备工艺上，研究人员采用了高温制备和器件构筑的分步法。该方法既保障了敏感材料所必需的高温退火条件，又避免了柔性基底因高温而受损，从而为高性能无机材料与柔性衬底的结合提供了可靠技术路径。新疆理化所研究员孔雯雯介绍，实验验证，超薄传感器展现出优异的综合性能：其电阻温度系数高达-4.1%/℃，响应时间仅192毫秒，在反复弯折与热冲击下仍能稳定工作。

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